Energiesparendes Flächen-Beleuchtungssystem in flachem Design. Der spezielle Aufbau der Streuscheibe erzeugt eine sehr gleichmäßige Ausleuchtung. In der Gehäusemitte der Flächenbeleuchtung befindet sich eine Öffnung für den Kameradurchblick.
Die ideale Beleuchtung für Waferinspektionen: statt einer Kuppelform weist dieser Dom ein flaches Gehäuse auf und ist rechteckig statt rund. Die Kamera kann durch diese Ausleuchtung die komplette Fläche erkennen, es entsteht kein Verlust durch das Kuppelloch (Kameraaussparung).
In folgendem Beispiel ist an einer FHLN-Si300S-W ein Polfilter angebracht der optional hinzubestellt werden und an das Gehäuse der Linienbeleuchtung angeschraubt werden kann.
Die Zylinderbeleuchtung FLCR bietet in einem vollständigen Kreis diffuses Licht mit einer Gleichförmigkeit von 99%. Diese LED-Beleuchtung ist besonders für den Einsatz im Dunkelfeld-Bereich geeignet.